Une gamme de tables rotatives piézoélectriques standard et modulaires, disponibles en configuration sous vide et UHV
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Référence |
Vitesse de rotation |
Résolution d'angle |
Précision de positionnement |
Tour de rotation |
Planéité de la rotation |
Capacité de chargement |
| FBR060 | 0.002 deg/sec à 360 deg/sec |
5 arc/sec (en standard), 0.5 arc/sec (en option) |
10 arc/sec |
5µ (en standard), 2.5µ (en option) |
5µ (en standard), 2.5µ (en option) |
5 kg |


